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苏净超净工作台的结构说明及原理-具体操作方法

时间:2018-10-30 18:05 来源:未知 作者:admin
  苏净超净工作台的结构说明及原理-具体操作方法讲解:苏净超净工作台其实也可以称之为局部洁净棚,或者区域无尘工作桌等,不同的地区叫法都会有所不同,总之主要是为实验室工作提供无菌操作环境的设施,以保护实验免受外部环境的影响,同时为外部环境提供某些程度的保护以防污染并保护操作者。

  空气经过过滤的生产环境被航空航天工业使用。即使一个微小的缺陷都可造成卫星工作失误,因此,NASA(美国航空航天中心)和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且创了许多基本的污染控制理念,其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。

  半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为超净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上,并使用无脱落的物质。在工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。

  苏净超净工作台

  在大型车间中按顺序排列的工作台(叫做工作层流罩)组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器(HEPA高效过滤器)。这些过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的过滤层,使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流,有利于工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。

一般来说,HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA过滤器,并以均匀平行的方式流出,在工作台表面改变方向,流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这种方式称为空气层流立式式(VLF)工作台,它是由空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器装于工作台后部,这种方式被称为空气层流平行(HLF)式工作台。

1.
  苏净超净工作台工作台原理:

超净工作台的洁净环境是在特定的空间内,洁净空气(进滤空气)按设定的方向流动而形成的。以气流方向来分,现有的超净工作台可分为垂直式,由内向外式以及侧向式。从操作质量和对环境的影响来考虑,以垂直式较优越。由供气滤板提供的洁净空气以一个特定的速度下降通过操作区,在大约操作区的中间分开,由前端空气吸入孔和后吸气窗吸走,在操作区下部吸入的空气混合在一起,并由风机吸入后正压区,在机器的上部,气体通过供高效过滤器重新进入操作区。为补充排气口排出的空气,同体积的空气通过操作口从房间空气中得到补充。这些空气绝对不会进入操作区,只是形成一个空气屏障。

2. 
  苏净超净工作台工作台操作方法:

操作前应用紫外灯照射30-40分钟,并检查操作区周围各种可开启的门窗处于工作时位置。操作尽量在操作区的中心位置进行,在设计上,这是一个较安全的区域。

在进行操作前应对实验材料有一个初步的认识,同时了解自已所使用的设备的性能及安全等级。严格执行实验室安全规程。特定病原在任何超净工作台中的使用必须进行安全性评估。如果实验材料会对周围环境造成环境污染,就应避免在无排气滤板的型号内使用,因为在流动空气中操作与散毒无异。

任何先进的设备并不能保证实验的成功,动物检疫实验室
苏净超净工作台的使用是以无菌和避免交叉污染为目的,因此熟练的操作和明确的无菌要领是必不可少的。